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全氟过滤器 EPFA系列
- 这是一款半导体设备上用的化学过滤器。滤壳接头与头部和滤筒一体式成型，从而缩小了装配所需空间。组件采用PFA全氟聚合物材质，具有优异的化学稳定性、耐温性和耐腐蚀性。高纯度设计、不含金属材料的结构。因此这些滤壳设计可满足超纯化学品对清洁度的严苛要求。入珠接头能够提供可靠的连接和密封，确保设备的正常运行和安全。特别适用于高压、高温、高腐蚀的工作环境。
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产品特点典型应用性能参数订货信息资料下载
产品特点
有非常好的耐温性、耐腐蚀性
超洁净的PFA材料确保过滤器的洁净度
低金属离子析出避免对液体的污染
超洁净的PFA材料确保过滤器的洁净度
低金属离子析出避免对液体的污染
典型应用
高温、强腐蚀性化学品过滤
半导体制程湿法工艺中酸、碱等湿化学品过滤
半导体制程湿法工艺中酸、碱等湿化学品过滤
性能参数
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材质 |
数量 |
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本体: |
PFA |
1PCS |
| 上盖: | PFA |
1PCS |
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上盖螺帽: |
ECTFE |
1PCS |
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承口螺帽: |
PFA |
1PCS |
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密封圈: |
FFKM、包四氟 |
1PCS |
|
螺栓螺母: |
PVDF |
4PCS |
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接口大小 |
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进口／出口: |
3／4″ 、1″ |
1PCS |
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排气阀: |
1／2″ |
2PCS |
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排污阀: |
1／2″ |
1PCS |
|
最大工作压力 |
0.3Mpa@100°C／0.75Mpa@25°C |
| 最高工作温度 | 100°C |
订货信息
- EPFA
- 系列=EPFA
- 10
- Code=长度
- 10=10inch
- 20=20inch
- R
- Code=滤芯接口
- R=222
- D
- Code=进出口
- D=3／4″
- F
- Code=密封圈
- F=FFKM
- K
- Code=骨架
- K=FFKM
- A
- Code=洁净度
- A=Dupont PFA
资料下载
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